Объединённая конференция “Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике”

Объединённая конференция Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике посвящена анализу состояния исследований и разработок в области электронно- и ионно-лучевых технологий, зондовой микроскопии, рентгеновской оптики и их применений в наноструктурировании поверхности, литографии и получении материалов для микро- и наноэлектроники.

 Конференция проводится при поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации, грант N 075-15-2020-791.

 Организаторы:

ФГБУН ИПТМ РАН г. Черноголовка и АО НИИМЭ г. Москва, Зеленоград.

 Даты проведения:

С 13 по 17 сентября 2021 года.

 

 

 Выступления сотрудников МНИЦ «Когерентная рентгеновская оптика для установок «Мегасайенс»:

Доклады

  1. Сороковиков Михаил Николаевич, «Планарная преломляющая оптика на основе кремния для источников рентгеновского излучения: метрология и совершенствование методов изготовления»,

Постерные доклады и тезисы

  1. А.А. Баранников, С.Н. Шевырталов, Д.А. Зверев, А.С. Нарикович, А.В. Синицын, И.Б. Панормов, И.И. Снигирева, А.А. Снигирев. “Лабораторный комплекс для тестирования рентгеновской оптики и адаптации синхротронных методов исследования”
  2. М.Н. Сороковиков, Д.А. Зверев, В.А. Юнкин, С.А. Кузнецов, И.И. Снигирева, А.А. Снигирев. “Планарная преломляющая оптика на основе кремния для источников рентгеновского излучения: метрология и совершенствование методов изготовления”
By | 2021-11-11T12:40:48+00:00 September 21st, 2021|Конференции, Школы, Семинары|0 Comments