Сотрудники МНИЦ «Когерентная рентгеновская оптика для установок класса «Мегасайенс» (МНИЦ РО) приняли участие в объединённой конференции «Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике», которая прошла в период с 13 по 17 сентября в г. Черноголовка (Московская область). Конференция организуется Институтом проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН) и проводится регулярно с 1994 года. В этом году были освещены вопросы анализа состояния исследований и разработок в области электронно- и ионно-лучевых технологий, зондовой микроскопии, рентгеновской оптики и их применений в наноструктурировании поверхности, литографии и получении материалов для микро- и наноэлектроники.
В ИПТМ РАН рентгеновская оптика развивается с 1983 г. Основные направления ИПТМ РАН связаны с созданием различных типов дифракционных рентгенооптических элементов для управления пространственно-временной структурой рентгеновского излучения и развитием рентгеновских методов диагностики материалов микро- и наноэлектроники.
Полина Медведская, лаборант-исследователь, аспирант МНИЦ РО:
«Я очень рада, что мне посчастливилось принять участие в этой конференции, где я смогла представить результаты, связанные с моей диссертационной работой. Мне очень приятно, что моя работа вызвала большой интерес и вопросы у слушателей. Было очень много полезных докладов, как ведущих ученых, так и от молодых исследователей в различных областях рентгеновской оптики. Школа дала возможность познакомиться с большим количеством научных групп для последующего сотрудничества и коллабораций».
Cороковиков, младший научный сотрудник, аспирант МНИЦ РО:
Конференция была организована ИПТМ РАН, в месте, где учился и работал мой научный руководитель Анатолий Александрович Снигирев. Двадцать пять лет назад впервые в мире были предложены и изготовлены составные преломляющие линзы, что активно обсуждалось участниками конференции.
Мой доклад был посвящён метрологии основных геометрических параметров кремниевых преломляющих линз для синхротронных источников. Эти исследования необходимы для усовершенствования технологии изготовления линз, чтобы «идеализировать» процесс транспорта пучка и не изменить его.
Мне, как аспиранту и молодому исследователю, конференция и новые знакомства с учеными из смежных тематик, дают новые возможности для дальнейших исследованийу».
Александр Баранников, лаборант-исследователь, аспирант МНИЦ РО:
«Несмотря на сложную эпидемиологическую обстановку программа мероприятия была очень насыщенной, за 4 дня было представлено около 60 докладов по материаловедению, рентгеновской оптике и микроэлектронике. Кто-то из исследователей выступал онлайн, однако, подавляющее большинство присутствовало лично. Это дало возможность пообщаться и узнать много полезной информации.
На данной конференции я выступал с устным докладом, где были представлены результаты моей диссертационной работы. Она посвящена использованию лабораторного оборудования в синхротронных исследованиях. Благодаря этому я получил обратную связь и важные замечания, которые позволят мне улучшить мою диссертационную работу».
Поездка была организована за счет средств РНФ проекта №19-72-30009.
