Ученый БФУ принял участие в научной школе-конференции по современным технологиям рентгеновской литографии

Сотрудник Международного научно-исследовательского центра «Когерентная рентгеновская оптика для установок «Мегасайенс» (МНИЦ «РО») БФУ им. И. Канта Дмитрий Зверев принял участие в научной школе-конференции «Использование синхротронного излучения для разработки и исследования перспективных материалов и наноструктур для технологии рентгеновской литографии», которая прошла в рамках XXXI Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика – 2024» 26 апреля в Национальном исследовательском университете «МИЭТ». Программа мероприятия включала доклады, посвященные инструментальным возможностям, которые открывает синхротронное излучение для рентгеновской литографии. Важное место занял обзор конструктивных особенностей установок рентгеновской литографии, а также обсуждение оптических решений, без преувеличения являющихся основой современного рентгеновского литографа.

Дмитрий Зверев выступил с докладом, посвященным возможности создания преломляющей оптики для использования в рентгеновской литографии. Он представил основные результаты и достижения научной команды МНИЦ «РО» в области создания и применения рентгеновской преломляющей оптики, а также устройств на ее основе. Особое внимание было уделено новым решениям и концепциям для проектирования оптических устройств безмасочной рентгеновской литографии. Отдельный доклад о теоретических расчетах преломляющей оптики для безмасочной рентгеновской литографии был представлен Корнеевым В. И. (МИЭТ).

Дмитрий Зверев, научный сотрудник МНИЦ «Когерентная рентгеновская оптика для установки «Мегасайенс»:
“Планы по созданию современного рентгеновского литографа в нашей стране действительно вдохновляют. Обмен опытом между научными группами, вовлеченными в его проектирование имеет сегодня исключительную важность для повышения эффективности технологических решений разрабатываемого передового оборудования рентгеновской литографии. Интересно, что совсем недавно мы обсуждали применение преломляющей оптики для комптоновских источников, генерирующих излучение сверх-жесткого и гамма диапазона, а сегодня рассматриваем ее использование в мягком рентгене. Это отражает универсальность и востребованность нашей оптики, которая, как очевидно, может быть использована и для решения задач рентгеновской литографии. Уверен, что наш опыт в создании новых видов преломляющей и дифракционной оптики, устройств на их основе, развития современных методов исследования, а также использования уникальных параметров передовых источников рентгеновского излучения станет ключевым фактором в достижении успеха в этом инновационном проекте.
Важно отметить, что рентгеновская литография с использованием синхротронного излучения представляет собой перспективную технологию с высоким разрешением и глубокой проникающей способностью, которая может иметь значительное влияние на будущее развитие полупроводниковой и микроэлектронной индустрии. Сегодня, активное развитие программы синхротронных исследований, а также формирование современной технологической базы на передовых источниках синхротронного излучения в России вдохновляют молодых исследователей на новые открытия и научные достижения.”

Участие в научной школе-конференции «Использование синхротронного излучения для разработки и исследования перспективных материалов и наноструктур для технологии рентгеновской литографии» было поддержано за счет средств Российской федеральной программы академического лидерства «Приоритет 2030» в Балтийском федеральном университете им. И. Канта.

By | 2024-05-15T15:58:25+00:00 May 13th, 2024|News|0 Comments