Вторая объединённая конференция «Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике»
Объединённая конференция "Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике" посвящена анализу состояния исследований и разработок в области электронно- и ионно-лучевых технологий, зондовой микроскопии, рентгеновской оптики и их применений в наноструктурировании поверхности, литографии и получении материалов для микро- и наноэлектроники. Конференция проводится при поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации, грант N 075-15-2020-791. Организаторы: ФГБУН [...]