Рефлектометрия 2017-06-08T09:44:59+00:00

Рефлектометрия

Метод рентгеновской рефлектометрии.

Метод рентгеновской рефлектометрии (XRR) основан на анализе кривых отражения падающего рентгеновского излучения от исследуемой структуры. Поскольку методика XRR основана на рассеянии рентгеновских лучей на градиенте электронной плотности, она может быть применена как для изучения объектов с кристаллической структурой, так и для полностью аморфных материалов. При этом измерение интенсивности отраженного сигнала как функции угла падения производится в области малых углов. Методика рентгеновской рефлектометрии может быть использована:

  • для изучения монокристаллического, поликристаллического или аморфного материала
  • в качестве неразрушающего метода для оценки шероховатости поверхности и интерфейса
  • изучения непрозрачных для видимого света материалов
  • определения структуры слоев многослойной или однослойной пленки
  • измерения толщин пленок от нескольких до 1000 нм.

На рисунке показано резюме того, как разные параметры (толщина пленки, плотность, шероховатость поверхности и интерфейса) влияют на кривую рентгеновской рефлектометрии, полученной от пленки нанесенную на кремниевую подложку.

Информация получаемая из кривой рентгеновской рефлектометрии.