Многослойные линзы Лауэ
Многослойные линзы Лауэ представляют собой планарную вариацию зонных пластинок, в которых для производства используются высокоточные методы осаждения для создания относительно толстых зонных пластинок, состоящих их тысячи слоев с очень тонкими внешними зонами, что позволяет достичь высокого разрешения.
Пара многослойных линз необходима для создания точечного микрофокуса, так как одна линза Лауэ фокусирует излучение линейно. Кроме того, качество фокусировки улучшается с помощью равномерного или отличающегося наклона зеркал. С помощью такого устройства фокусировки уже был продемонстрирован фокус излучения с диаметром около 16 нм.