Наука
Полезные ресурсы
Разработки
НАУКА
Оборудование
Доступные в рамках БФУ установки для проведения исследований
УНУ «SynchrotronLIKE»
Основные характеристики
- ускоряющее напряжение – 10-70 кВ;
- мощность – 300 Вт;
- минимальный фокальный размер пятна – 5 мкм;
- максимальная яркость – 1.5∙1011 [Ph/(s∙mm2∙mrad2∙line)]
- стабильность эмиссии – менее 1 %;
- минимальное фокусное расстояние до объекта – 18 мм;
- угол пучка – 13°.
Поставленные методики
Комплекс имеет 2 независимых канала вывода (аналитический и оптический) пучков рентгеновского излучения.
Оптический канал дает возможность проводить эксперименты по проекционной рентгеновской микроскопии с разрешением до 5 мкм.
Аналитический канал дает возможность проводить эксперименты по относительной рефлектометрии, дифрактометрии и флюорисцентоному анализу. Благодаря высокой яркости источника возможно
Двулучевая станция Zeiss Crossbeam 540
Двулучевой электронно-ионный микроскопический комплекс Carl ZEISS Crossbeam 540
Приложения
Станция используется для высокопроизводительной нанотомографии и производства наноразмерных устройств. Комбинирование сигналов с нескольких высокоразрешающих детекторов позволяют получить максимальную информацию об образце. Ионная колонна с максимальным током до 100 нА и превосходной фокусировкой позволяет преодолеть разрыв между микро- и наноструктурированием. Комбинирование сигналов с нескольких высокоразрешающих детекторов позволяет получить максимальную информацию об образце.
- создание структур и модификации поверхности образца посредством ионной и электронной литографии
- химическое осаждение и оптимизация ионного травления
- реконструирование поверхности образца (3DSM)
- микро- и нанотомография – 3D реконструирование объема образца
- высококачественная пробоподготовка срезов и ламелей
Система оптического контроля
Стереомикроскоп ZEISS SteREO Discovery.V20
Оптический микроскоп нового поколения ZEISS AXIO IMAGER A2M
Микроскоп нового поколения фирмы Carl Zeiss, обеспечивающий превосходные результаты исследований во всех областях применения.
Бесконтактный 3D профилометр NV-1800 Surface Profiling System
Быстрый 3D профилометр для любых типов поверхностей. NanoSystem разрабатывает аппаратные и программные решения на основе запатентованных алгоритмах и интерферометров белого света. Запатентованные методы фазового сдвига и сканирующей интерферометрии белого света (WSI/PSI) позволяют измерять широкий спектр поверхностей материалов и их параметров, включая 2D и 3D профилирование поверхности с высоким пространственным разрешением (0,1 нм – вертикальное и 0,2 мкм – латеральное разрешение).
Типичные области применения – контроль качества, инспектирование, измерения. Благодаря функциям кодирования, ключевые параметры микроскопа могут быть использованы программным обеспечением AxioVision/ZEN 2. Тип объектива и общее увеличение, тип контрастирования и настройки освещения сохраняются и при необходимости могут быть использованы повторно.
Универсальный исследовательский микроскоп по схеме Аббе, имеющий модульную конструкцию и традиционно высокое качество оптики Zeiss. SteREO Discovery.V20 – флагманская модель в линейке стереомикроскопов от Carl ZEISS, разработанная специально для проведения высокоточных многоэтапных исследований и объединяющая все современные достижения Carl ZEISS в стереомикроскопии.
Оптические компоненты дают четкое и яркое объемное изображение с оптимальной глубиной резкости и максимальным разрешением.
Оптические компоненты дают четкое и яркое объемное изображение с оптимальной глубиной резкости и максимальным разрешением.