Установка сфокусированного ионного пучка – Focused ion beam (FIB)

1. Высокопрецизионная ионная литография
2. Методика FIB Cross Section (поперечное сечение ионным пучком)
3. Ионно- и Электронно- стимулированное осаждение материалов
4. Электронная литография
5. 3D реконструкция методом электронной микроскопии
6. Электронная микроскопия высокого разрешения
7. Метод ионной микроскопии

Рентгеновская Микроскопия

1. Фазо-контрастная микроскопия
2. Время разрешающая рентгеновская микроскопия
3. Рентгеновская высокоразрешающая томография
4. Рентгеновская топография

Диагностика рентгеновской оптики жесткого диапазона

1. Диагностика рентгеновской оптики жесткого диапазона

Инновационные методы исследования микро- и нано- структур на основе когерентной рентгеновской оптики

1. Рентгенооптический Фурье-анализ
2. Рентгеновская рефлектометрия
3. Рентгеновская интерферометрия

Основные направления исследований

1. Разработка и тестирование рентгенооптических элементов и устройств для оборудования ведущих мировых центров, так называемого класса «Мегасайенс» (синхротроны нового поколения, лазеры на свободных электронах)
2. Разработка инновационных методик исследования микро- и нано- объектов на базе рентгеновской когерентной оптики (интерферометрия, дифрактометрия, рефлектометрия)
3. Разработка и развитие существующих методик рентгеновской микроскопии (фазо-контрастная микроскопия, времяразрешающая рентгеновская микроскопия), томографии, топографии, рентген-флуоресцентного анализа.
4. Неразрушающий контроль материалов, компонентов и изделий широкого круга.
5. Реализация проектов по приоритетному направлению развития науки, техники и технологии в области инновационных высокотехнологических проектов, имеющих существенное прикладное значение;
6. Участие в подготовке магистров, аспирантов и соискателей, профессионально ориентированных на должности с широким диапазоном знаний в направлении «Когерентная оптика», а также в повышении квалификации;
7. Подготовка кадров, способных эффективно использовать элементы и устройства рентгеновской оптики для широкого круга методик исследования на основе пучков рентгеновского излучения синхротронов и лабораторных источников, включая рентгеновскую дифракцию, микроскопию, спектроскопию, томографию, рефлектометрию, интерферометрию, решение сопутствующих проблем в области материаловедения, физики конденсированного состояния и наносистем.

Нормативные документы

1. Положение об УНУ
2. Форма заявки на проведение исследований для внутренних пользователей
3. Форма заявки на проведение исследований для внешних пользователей
4. Перечень оборудования, входящего в состав УНУ
5. Правила конкурсного отбора заявок третьих лиц на выполнение работ с использованием УНУ
6. Договор на выполнение цикла научно-исследовательских работ
7. Регламент доступа к оборудованию
8. Перечень выполняемых типовых работ и порядок определения их стоимости