Научные сотрудники МНИЦ «Когерентная рентгеновская оптика для установок «Мегасайенс» БФУ им. И. Канта представили свои доклады на второй объединённой конференции «Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике», которая проходила в период с 13 по 16 ноября в г. Черноголовка на базе Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук (ИПТМ РАН). Конференция была посвящена анализу состояния исследований и разработок в области электронно- и ионно-лучевых технологий, зондовой микроскопии, рентгеновской оптики и их применений в наноструктурировании поверхности, литографии и получении материалов для микро- и наноэлектроники. Участие в конференции приняли более 120 исследователей, представляющих научные и образовательные организации из России, Азербайджана, Армении, Республики Беларусь и Китая. Мероприятие проходило в двух форматах: устные и стендовые доклады. Конференция состояла из 10 секций, среди наиболее важных можно выделить следующие: диагностика полупроводниковых материалов и структур, электронно-лучевая и ионная литографии, рентгеновская кристаллооптика, применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур, новые методы исследования микро- и наноструктур с использованием синхротронных и лабораторных источников рентгеновского излучения. Организаторами конференции по традиции стали ИПТМ РАН и АО “НИИМЭ” (г. Москва, Зеленоград), которые являются ведущими российскими научно-исследовательскими центрами по проведению научно-технологических исследований в области микро- и наноэлектроники, разработке и производству полупроводниковых изделий.
Лятун Иван, научный сотрудник МНИЦ РО сделал доклад по теме: “Рентгеновская преломляющая микрооптика из аморфных материалов” на секции №4 “Электронно-лучевая и ионная литография”. В рамках доклада были представлены результаты теоретических расчетов предельных оптических характеристик микролинз для задач высокоразрешающей фазово-контрастной микроскопии. Показаны экспериментальные результаты изготовления микрооптики из рентгеноаморфных материалов (кварц и бор), а также из алмаза и кремния методом ионно-лучевой литографии. Оптические элементы были получены на двухлучевой системе FIB-SEM Zeiss CrossBeam 540, входящей в состав уникальной научной установки «Научно-образовательный многофункциональный комплекс подготовки и проведения синхротронных исследований» (УНУ «SynchrotronLike»). Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда, проект №23-22-00422 (https://rscf.ru/project/23-22-00422/).
Александр Коротков, лаборант-исследователь МНИЦ РО, представил доклад на тему: “Компактный рентгеновский трансфокатор с изменяемым положением линз” на секции №8 “Применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур”. В докладе были предложены новаторские идеи применения компактного трансфокатора и приведено моделирование возможных оптических схем его применения. В представленной модели трансфокатора реализовано независимое управление положением каждой линзы. Это открывает возможность применения в методах исследования, ранее недоступных для преломляющей оптики: абсорбционной спектроскопии, где необходимо сохранять положение фокуса в фиксированном положении при изменении энергии, и реализации сканирования по объему исследуемого образца, что может найти своё применение в высокоразрешающей рентгеновской микроскопии на российских источниках синхротронного излучения нового поколения.
Михаил Сороковиков, младший научный сотрудник МНИЦ РО, представил доклад, посвященному циклу работ на тему: “Рентгенооптическое устройство двумерной фокусировки на основе планарных кремниевых составных преломляющих линз”. Уникальное устройство предназначено для микро- и нано-фокусировки пучка рентгеновского излучения с возможностью коррекции астигматизма оптической системы. В рамках доклада подробно описывались фокусирующие системы и функциональные возможности разработанного устройства. Сборка компонентов устройства и предварительная юстировка оптики выполнялась на многофункциональном комплексе подготовки и проведения синхротронных исследований «SynchrotronLike» – УНУ «SynchrotronLike» БФУ им. И. Канта. Двумерная фокусировка с коррекцией астигматизма успешно реализована на станции “Рентгеновская кристаллография и физическое материаловедение” Курчатовского источника синхротронного излучения второго поколения (РКФМ”КИСИ-Курчатов”) и демонстрирует огромный потенциал практического применения устройства на новых, строящихся источниках рентгеновского излучения (СКИФ и СИЛА).
Стоит отметить, что работа реализована в рамках выполнения отдельных мероприятий Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019 – 2027 годы, по теме «Разработка элементов и систем экспериментальных станций источников синхротронного излучения для комплементарных in-situ исследований динамики трансформации объектов в условиях внешних воздействий в целях разработки, создания и диагностики новых материалов» (Договор с ФНИЦ “Кристаллография и Фотоника” РАН № 8418.21.09/2478 от 02.11.2021 г.).
