Объединённая конференция “Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике” посвящена анализу состояния исследований и разработок в области электронно- и ионно-лучевых технологий, зондовой микроскопии, рентгеновской оптики и их применений в наноструктурировании поверхности, литографии и получении материалов для микро- и наноэлектроники.
Конференция проводится при поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации, грант N 075-15-2020-791.
Организаторы: ФГБУН ИПТМ РАН г. Черноголовка и АО “НИИМЭ” г. Москва, Зеленоград.
Даты проведения: С 13 по 17 сентября 2023 года.
Место проведения: г. Черноголовка, Московская обл., ул. Академика Осипьяна д. 6, ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН).
Тематика конференции (секции):
- Диагностика полупроводниковых материалов и структур
- Характеризация материалов и структур методами ПЭМ и РЭМ
- Сканирующая зондовая микроскопия и зондовая нанолитография
- Электронно- лучевая и ионная литографии
- Электронно- лучевые технологии в микроэлектронике
- Рентгеновская кристаллооптика
- Многослойная оптика для рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазона
- Применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур
- Рентгеновская микроскопия и томография
- Новые методы исследования микро- и наноструктур с использованием синхротронных и лабораторных источников рентгеновского излучении
От МНИЦ «Когерентная рентгеновская оптика для установок Мегасайенс» (МНИЦ РО) выступили:
- Лятун Иван, научный сотрудник МНИЦ РО сделал доклад по теме: “Рентгеновская преломляющая микрооптика из аморфных материалов” на секции №4 “Электронно-лучевая и ионная литография”.
- Александр Коротков, лаборант-исследователь МНИЦ РО, представил доклад на тему: “Компактный рентгеновский трансфокатор с изменяемым положением линз” на секции №8 “Применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур”.
- Михаил Сороковиков, младший научный сотрудник МНИЦ РО, представил доклад, посвященному циклу работ на тему: “Рентгенооптическое устройство двумерной фокусировки на основе планарных кремниевых составных преломляющих линз”.
